HEIDENHAIN precíziós osztások
A mérőrendszerek lényeges alkotóelemei a mértékmegtestesítők, melyek jellemzően 0,25 µm-től 10 µm-ig terjedő struktúraszélességű osztásrácsokként jelennek meg. Ezeket az osztásokat, melyek a mérőrendszer működése és pontossága szempontjából meghatározók a HEIDENHAIN által kifejlesztett eljárásokkal gyártják. í/py
Az osztások vonásokból és az azok közti “üres” sávokból állnak, melyek definiált távolsága rendkívül szoros tűrésű. Struktúráit rendkívül nagy kontúrélesség jellemzi. Ellenállók a mechanikus és a vegyi hatásokkal szemben, érzéketlenek a rezgési és sokkszerű terhelésre.
Precíziós osztások fajtái:
- DIADUR
- A DIADUR precíziós osztások egy rendkívül vékony krómrétegnek a hordozóra – többnyire üvegre vagy üvegkerámiára – történő felvitelével készülnek mikrométernyi, vagy még azt is meghaladó pontossággal.
- AURODUR
- Az AURODUR osztások kitűnően fényvisszaverő arany vonásokból és a köztük lévő mattra maratott felületekből állnak. Az AURODUR osztások általában acél hordozóra kerülnek.
- METALLUR
- A METALLUR osztások a fényvisszaverő arany rétegekből álló különleges optikai felépítésük miatt közelítőleg planáris struktúrát mutatnak. Ennek eredményeként különösen érzéketlenek a szennyeződésekkel szemben.
- FÁZISRÁCSOS OSZTÁSOK
- Különleges gyártási eljárásokkal háromdimenziós rácsstruktúrák is készíthetők, melyek speciális optikai tulajdonságokkal rendelkeznek. Struktúraszélességük néhány mikrométertől negyed mikrométerig terjed.
- SUPRADUR
- A SUPRADUR eljárással készült osztások optikailag úgy hatnak, mint a háromdimenziós fázisrácsok, de valójában planáris struktúrájuk van és ezért igencsak érzéketlenek a szennyeződésekre.
- OPTODUR
- Az OPTODUR eljárással rendkívül jó fényvisszaverő tulajdonságokkal rendelkező osztásstruktúrák állíthatók elő. Planáris struktúrájuk a SUPRADUR osztáshoz hasonlóan optikailag háromdimenziósnak hat.
- MAGNODUR
- A legfinomabb mágneses osztásokat mágnesesen aktív mikrométeres nagyságrendű vékony rétegek struktúrálásával állítják elő.